| 发明名称 | 用于切割衬底的系统及方法 | ||
| 摘要 | 一种衬底切割系统包含：至少一个切割头，其具有在衬底上形成切割线的切割切具；线性马达，其抬高所述切割头，并向所述切割头施加线性扭矩以获得所述切割头的切割压力；以及控制器，其通过向所述线性马达施加对应于参考压力的电流，以使得所述切割头的根据所述线性马达的所述线性扭矩的切割压力等于所述参考压力，来控制所述切割头以切割所述衬底。 | ||
| 申请公布号 | CN101110391B | 申请公布日期 | 2010.06.02 |
| 申请号 | CN200710129466.1 | 申请日期 | 2007.07.17 |
| 申请人 | SFA工程股份有限公司 | 发明人 | 金龙云;姜判锡;金贤虎;金学东;吴昌益;金星根 |
| 分类号 | H01L21/78(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/78(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 一种衬底切割系统，其特征在于其包括：至少一个切割头，其具有在衬底上形成切割线的切割切具；线性马达，其抬高所述切割头，并向所述切割头施加线性扭矩以获得所述切割头的切割压力；以及控制器，其通过向所述线性马达施加对应于参考压力的电流，以使得所述切割头的根据所述线性马达的所述线性扭矩的切割压力等于所述参考压力，来控制所述切割头以切割所述衬底。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道牙山市屯浦面新项里166番地 | ||