电热驱动的面内双稳态射频微开关

摘要

一种微机电技术领域的电热驱动的面内双稳态射频微开关，包括：电热驱动机构、机械闭锁机构和信号转换机构，其中：电热驱动机构位于机械闭锁机构的正下方，机械闭锁机构与信号转换机构相连接。本发明利用一对闭锁触头实现机械锁定，稳态保持时不需要持续功耗。同时充分发挥电热驱动器驱动力大、位移功率密度高、便于集成制造的优势，用作本开关机械闭锁结构的致动形式。该开关结构简单，适于一体制造，具有可预见的RF特性，存在批量制造和实际应用的可能。

主权项

一种电热驱动的面内双稳态射频微开关，包括：电热驱动机构、机械闭锁机构和信号转换机构，其特征在于：电热驱动机构位于机械闭锁机构的正下方，机械闭锁机构与信号转换机构相连接；所述的电热驱动机构包括：主驱动器电极、电热主驱动器、副驱动器电极和电热副驱动器，其中：主驱动器电极与电热主驱动器相连，副驱动器电极与电热副驱动器相连，电热主驱动器和电热副驱动器的末端分别正对机械闭锁机构相对设置并不相接触；所述的信号转换机构包括：柔性杆、接触头和信号线，其中：柔性杆的一端与机械闭锁机构相连，另一端与接触头相连，接触头与信号线相对设置且不相接触。