| 发明名称 | 镀覆装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种镀覆装置，其包括：用于保持镀液的镀槽；和具有搅拌叶片的搅拌机构，所述搅拌叶片浸在镀槽的镀液中并且布置在面对工件的待镀表面的位置，所述搅拌叶片可平行于工件的待镀表面往复运动以搅拌镀液；其中所述搅拌叶片在其至少一侧上具有不规则部，所述不规则部包括连续的三角形或矩形锯齿不规则部，从而使与待镀表面接触的镀液的流动更加均匀和有效，在待镀表面上形成膜厚一致性更好的镀膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101369533B | 申请公布日期 | 2010.06.02 |
| 申请号 | CN200810166115.2 | 申请日期 | 2004.03.09 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 栗山文夫;竹村隆;斋藤信利;木村诚章;黄海冷 |
| 分类号 | H01L21/288(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I;C25D5/08(2006.01)I;C25D21/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/288(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 王琼先;王永建 |
| 主权项 | 一种镀覆装置，其包括：用于保持镀液的镀槽；和具有搅拌叶片的搅拌机构，所述搅拌叶片浸在镀槽的镀液中并且布置在面对工件的待镀表面的位置，所述搅拌叶片可平行于工件的待镀表面往复运动以搅拌镀液；其中所述搅拌叶片在其至少一侧上具有不规则部，所述不规则部包括连续的三角形或矩形锯齿不规则部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||