电感耦合等离子体光源的供气系统

摘要

本发明一种电感耦合等离子体光源的供气系统，包括气源、等离子气供气支路、辅助气供气支路和载气供气支路，所述气源分别通过一质量流量控制器与所述离子气供气支路、辅助气供气支路、载气供气支路连接。在该方案中气源与供气支路之间通过质量流量控制器连接，质量流量控制器能够接收来自于主控制器的模拟电压信号，并根据该电压的大小对输出的流量进行控制，从而大大的提高了工作气体流量的调节与控制的精度以及自动化程度。

主权项

一种电感耦合等离子体光源的供气系统，包括气源、等离子气供气支路、辅助气供气支路和载气供气支路，其特征在于：所述气源分别通过一质量流量控制器与所述离子气供气支路、辅助气供气支路、载气供气支路连接。