发明名称 一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法
摘要 本发明公开了一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法,其特征在于:将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上,根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜,出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点;依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置,完成各个所需导光网点的刻蚀;刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后,再进行电铸,获得所需的光导薄膜模仁。本发明通过数字微反射镜输入导光网点形状,直接采用紫外激光在光刻胶干板上刻蚀导光网点,可快速进行网点设计评价和提供样品,提高模仁的制造品质,同时,该发明有利于制造大尺寸的光导板。
申请公布号 CN101216663B 申请公布日期 2010.06.02
申请号 CN200810019237.9 申请日期 2008.01.17
申请人 陈林森 发明人 陈林森
分类号 G03F5/02(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01S5/00(2006.01)I;G02B6/00(2006.01)I 主分类号 G03F5/02(2006.01)I
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人 陶海锋
主权项 一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法,其特征在于:将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上,根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜,出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点;依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置,完成各个所需导光网点的刻蚀;刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后,再进行电铸,获得所需的光导薄膜模仁。
地址 215021 江苏省苏州市苏州工业园区都市花园54-301
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