| 发明名称 | 基板检测机构和使用其的基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够正确并且简易地对能够搬送地支撑基板时的支撑状态有无异常进行检测的基板检测机构。本发明的基板检测机构包括在能够搬送的高度位置支撑基板(G)的升降销(130)、对在升降销(130)支撑基板(G)的高度位置有无基板进行检测的基板检测光传感器(141)、和对在升降销(130)支撑基板(G)的高度位置的下方位置有无基板(G)进行检测的空间检测光传感器(142)，当基板检测光传感器(141)检测出有基板、并且空间检测光传感器(142)检测出无基板时，判断基板的支撑状态为正常，当基板检测光传感器(141)检测出无基板、或者空间检测光传感器(142)检测出有基板时，判断基板的载置状态为异常。 | ||
| 申请公布号 | CN101118864B | 申请公布日期 | 2010.06.02 |
| 申请号 | CN200710140223.8 | 申请日期 | 2007.08.03 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 樋口胜俊;石田茂雄;市川信志 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种基板检测机构，用于对以能够搬送的状态被支撑的基板的支撑状态进行检测，其特征在于，包括：在能够搬送的高度位置支撑基板的支撑部件；对在所述支撑部件支撑基板的高度位置有无基板进行检测的第一传感器；对在所述支撑部件支撑基板的高度位置的下方位置有无基板进行检测的第二传感器；和当所述第一传感器检测出有基板、并且所述第二传感器检测出无基板时，判断所述支撑部件上的基板的支撑状态为正常，当所述第一传感器检测出无基板、或者所述第二传感器检测出有基板时，判断所述支撑部件上的基板的支撑状态为异常的运算部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||