一种多晶硅太阳能电池制作方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅太阳能电池制作方法，其工艺步骤包括:(1)有选用以空穴为导电载体的P型多晶硅片为基片;(2)采用球磨或者气流粉碎的破碎工艺，制备N型多晶硅微米粉末；(3)将N型多晶硅微米粉末与含有ZnO或TiO 2的纳米晶胶体溶液进行混合，得到复合硅浆料，该复合硅浆料中硅的质量百分比为50％-90％；(4)在P型多晶硅衬底上使用步骤(3)所得到复合硅浆料，沉积一层掺杂ZnO或TiO 2的N型硅复合薄膜；(5)制作银栅电极和铝背电极。本发明提供的多晶硅太阳能电池制作方法选择廉价P型硅片作为衬底，同时避免了制绒、扩散掺杂等工艺，成本低廉，工艺简单，且光电转换效率高，具有非常广泛的产业化价值。

主权项

一种多晶硅太阳能电池制作方法，其特征在于包括以下步骤：(1)、选用纯度不小于99.999％的P型多晶硅片为基片，其电阻率不小于0.5Ω·cm，厚度范围为100-300微米；(2)、选用纯度为99.9999％的N型多晶硅为原料，采用球磨或者气流粉碎的破碎工艺，制备纯度为99.9999％且平均颗粒度在2-20微米范围的N型多晶硅微米粉末；(3)、将所述N型多晶硅微米粉末与含有ZnO或TiO2的纳米晶胶体溶液进行混合，得到复合硅浆料，该复合硅浆料中硅的质量百分比为50％-90％；(4)、采用喷涂或印刷成膜工艺结合退火处理在P型多晶硅基片上使用步骤(3)所得到的复合硅浆料，沉积一层掺杂ZnO或TiO2的N型硅复合薄膜；(5)、采用磁控溅射工艺或丝网印刷工艺制作银栅电极和铝背电极。