一种用于低温材料出气性能测试的金属系统

摘要

本发明涉及一种对低温材料出气性能进行测试的金属系统，属于低温材料领域。该系统由样品室、电容规、微调阀、金属软管、高真空角阀、液氮冷阱、质谱计、插板阀、分子泵和机械泵组成；由机械泵和分子泵组成的抽真空系统对样品室内的样品进行抽空处理，液氮冷阱对系统产生的油蒸汽进行低温吸附，当样品室压力抽到1×10-3Pa时，关闭高真空角阀和插板阀，使用电容规在规定时间内测试样品室内压力变化情况，从而计算出样品的出气速率。出气速率测试结束后，打开微调阀，通过金属软管将样品放出的气体进样到质谱计中，通过质谱计对样品的出气成分进行分析，从而确定样品的出气成分。该系统的可靠性和准确性提高了，测试结果更可靠。

主权项

一种对低温材料出气性能进行测试的金属系统，其特征在于：该系统由样品室(1)、电容规(2)、微调阀(3)、金属软管(4)、高真空角阀(5)、液氮冷阱(6)、质谱计(7)、插板阀(8)、分子泵(9)和机械泵(10)组成；其连接关系为：机械泵(10)作为前级泵与分子泵(9)相连，分子泵(9)通过插板阀(8)与液氮冷阱(6)垂直连接；液氮冷阱(6)左右两侧各有一法兰连接口；质谱计(7)通过一个直角三通与液氮冷阱(6)和金属软管(4)连接，直角三通的垂直法兰端与液氮冷阱(6)右侧法兰连接，另一端与金属软管(4)连接；高真空角阀(5)的一侧通过一直角弯头与液氮冷阱(6)左侧法兰连接，另一侧通过法兰连接方式与样品室(1)相连；样品室(1)上端接有两根直管，一根直管通过密封法兰与金属四通相连，金属四通的其他三个接口分别通过快卸法兰的连接方式与电容规连接；另一根直管通过球头密封方式与微调阀(3)的一端连接，微调阀(3)的另一端则与金属软管(4)连接。