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Eine Vorrichtung (100) zur Bearbeitung von Werkstücken unter Vakuum enthält ein Gehäuse (1) mit einem im Wesentlichen kreiszylindrischen Innenraum, einen Gehäusedeckel (2), einen bezüglich des Gehäuses (1) drehbaren Gehäuseboden (6), eine mit dem Gehäuseboden (6) verbundene und im Innenraum des Gehäuses (1) angeordnete Rotoreinrichtung (8) mit im Wesentlichen kreiszylindrischer Form, in der mehrere Kammern zur Aufnahme von Werkstücken gebildet sind, wobei im Gehäuse (1) und/oder im Gehäusedeckel (2) Arbeitsöffnungen (4, 12, 13) gebildet sind, und die Kammern der Rotoreinrichtung (8) mindestens jeweils eine Rotoröffnung (21) aufweisen, die mit den Arbeitsöffnungen (4, 12, 13) in Übereinstimmung bringbar ist, wobei um jede der Rotoröffnungen (21) zwischen der Rotoreinrichtung (8) und dem Gehäuse (1) oder dem Gehäusedeckel (2) eine Rotoröffnungsdichteinrichtung (14) vorgesehen ist. Ferner sind Rotordichteinrichtungen (15) zwischen der Rotoreinrichtung (8) und dem Gehäusedeckel (2) und/oder Gehäuse (1) vorgesehen, welche jeweils die im Gehäusedeckel (2) bzw. Gehäuse (1) geformten Arbeitsöffnungen (4, 12, 13) gemeinsam umgreifen und einen die im Gehäusedeckel (2) geformten Arbeitsöffnungen (4, 12, 13) enthaltenden Raum zwischen Rotoreinrichtung und Gehäusedeckel (2) bzw. einen die im Gehäuse (1) geformten Arbeitsöffnungen enthaltenden Raum zwischen Rotoreinrichtung (8) und Gehäuse (1) definieren und dichten.
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