| 发明名称 |
COMPOSITION DE RESIST CHIMIQUEMENT AMPLIFIEE. |
| 摘要 |
Composition de résist chimiquement amplifiée comprenant: une résine qui contient un groupement instable aux acides, elle-même insoluble ou médiocrement soluble dans une solution aqueuse d'alcali, mais devenant soluble dans une solution aqueuse d'alcali par action d'un acide.
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| 申请公布号 |
BE1018144(A3) |
申请公布日期 |
2010.06.01 |
| 申请号 |
BE20070000614 |
申请日期 |
2007.12.21 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED |
发明人 |
ARAKI KAORU;YAMAGUCHI SATOSHI;YAMAMOTO SATOSHI |
| 分类号 |
(IPC1-7):C07C381/00;C07D333/00;C08K5/00;G03F7/004;G03F7/039;C07C381/00 |
主分类号 |
(IPC1-7):C07C381/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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