发明名称 Substrate Supporting Member, Substrate Baking Furnace, Substrate Transporting Unit and Substrate Processing Method
摘要
申请公布号 KR100961021(B1) 申请公布日期 2010.06.01
申请号 KR20070028402 申请日期 2007.03.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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