发明名称 Formation of semiconductor devices
摘要
申请公布号 US3100166(A) 申请公布日期 1963.08.06
申请号 US19600035804 申请日期 1960.06.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MARINACE JOHN C.;RUTZ RICHARD F.
分类号 C22B41/00;C23C16/46;C25F3/12;C30B25/02;H01L21/00;H01L21/205;H01L29/00 主分类号 C22B41/00
代理机构 代理人
主权项
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