发明名称 |
Formation of semiconductor devices |
摘要 |
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申请公布号 |
US3100166(A) |
申请公布日期 |
1963.08.06 |
申请号 |
US19600035804 |
申请日期 |
1960.06.13 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MARINACE JOHN C.;RUTZ RICHARD F. |
分类号 |
C22B41/00;C23C16/46;C25F3/12;C30B25/02;H01L21/00;H01L21/205;H01L29/00 |
主分类号 |
C22B41/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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