离子源组件

摘要

本发明涉及一种离子源组件，该离子源组件包括冷阴极、栅极和离子加速极，冷阴极、栅极和离子加速极分别相向间隔设置，该栅极位于冷阴极与离子加速极之间，其中，冷阴极与栅极之间的距离小于或等于2毫米，冷阴极包括基底及场发射薄膜，场发射薄膜设置于基底上且面向栅极，所述场发射薄膜含有碳纳米管、低熔点玻璃及导电金属微粒。该离子源组件的冷阴极采用碳纳米管作为场发射薄膜来发射电子，因此其具有低功耗、低放气率、发射电子稳定及抗离子轰击等优点。

主权项

一种离子源组件，包括冷阴极、栅极和离子加速极，冷阴极、栅极和离子加速极相互绝缘地间隔设置，该栅极位于冷阴极与离子加速极之间，其特征在于：冷阴极与栅极之间的距离小于或等于2毫米，冷阴极包括基底及场发射薄膜，场发射薄膜设置于基底上且面向栅极，所述场发射薄膜含有碳纳米管、低熔点玻璃及导电金属微粒。