微机械式开关结构

摘要

本发明涉及一种微机械式开关结构，包括源极、汲极、驱动下电极、浮动电极组以及金属弹簧部。浮动电极组与源极、汲极以及驱动下电极相对而设，其中浮动电极组包括支撑层、驱动上电极以及讯号电极。讯号电极配置于支撑层上并与驱动上电极电性绝缘。浮动电极组藉由金属弹簧部而架设于二固定端之间。当驱动上电极与驱动下电极为等电位时，浮动电极组悬浮于源极、驱动下电极与汲极上方。当驱动上电极与驱动下电极具有一电压差时，浮动电极组往驱动下电极移动，以使讯号电极同时接触源极与汲极。本发明是一种可避免驱动时的噪声问题，进而提升信号的可靠度，而且使用寿命长的微机械式开关结构，具有较好的市场价值。

主权项

一种微机械式开关结构，配置在一基板上，其特征在于包括：一源极与一汲极，配置于该基板上且彼此相隔一间距；一驱动下电极，配置于该基板上，该驱动下电极位于该源极与该汲极之间，并与该源极以及该汲极电性绝缘；一浮动电极组，与该源极、该汲极以及该驱动下电极相对而设，其中该浮动电极组包括：一支撑层；一驱动上电极，配置于该支撑层上并面向该驱动下电极；一讯号电极，配置于该支撑层上并与该驱动上电极电性绝缘，该讯号电极位于该驱动下电极与该驱动上电极之间，并延伸至该源极与该汲极的上方，且该讯号电极与该驱动下电极之间的距离大于该讯号电极与该源极之间以及该讯号电极与该汲极之间的距离；以及一金属弹簧部，具有二固定端，其中该金属弹簧部藉由该些固定端固定于该基板上，且该浮动电极组藉由该金属弹簧部而架设于该金属弹簧部的该些固定端之间；其中，当该驱动上电极与该驱动下电极为等电位时，该浮动电极组悬浮于该源极、该驱动下电极与该汲极上方；当该驱动上电极与该驱动下电极具有一电压差时，该浮动电极组往该驱动下电极移动，以使该讯号电极同时接触该源极与该汲极。