| 发明名称 | 硅片真空吸附装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种硅片的吸附装置。本实用新型公开了一种硅片真空吸附装置，包括机架、固定在机架上的电机、与电机连接的传动带和带轮、万向轴承、真空泵、与真空泵连接的吸附件，该吸附件包括半空心轴、密封器、吸盘，其中，半空心轴的一个端部与吸盘连接，半空心轴的另一个端部固定在带轮上，所述密封器套在半空心轴上的螺旋气孔处，万向轴承套在半空心轴的上部。本实用新型气路通畅，吸附力强，吸盘上的吸附力均匀。 | ||
| 申请公布号 | CN201488516U | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200920154409.3 | 申请日期 | 2009.05.12 |
| 申请人 | 耿彪 | 发明人 | 耿彪 |
| 分类号 | F26B25/00(2006.01)I;F16B47/00(2006.01)I | 主分类号 | F26B25/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人 | 黄家俊 |
| 主权项 | 一种硅片真空吸附装置，包括机架、固定在机架上的电机、与电机连接的传动带和带轮、万向轴承、真空泵、与真空泵连接的吸附件，其特征在于：所述吸附件包括半空心轴、密封器、吸盘，其中，半空心轴的一个端部与吸盘连接，半空心轴的另一个端部固定在带轮上，所述密封器套在半空心轴上的螺旋气孔处，万向轴承套在半空心轴的上部。 | ||
| 地址 | 101101 北京市通州区永顺镇潞邑西路2号院4号楼412室 | ||