| 摘要 |
<p>Zpusob spocívá v tom, že se stanoví úhel (.alfa.), který svírá první smer rastrování (5) s rovinou (7), tak, že tento úhel leží v rozmezí 0.degree. až 90.degree.. V rámci tohoto rozmezí velikostí úhlu (.alfa.) a s ohledem na rozmerové parametry celého systému se urcí pomocí konstrukcního softwaru, výpoctem a/nebo graficky taková kombinace úhlu (.alfa.) a polohy detekcní plochy (3.2) EBSD detektoru (3), pri níž kolmice (4.2) k odprášenému povrchu (4.1) vzorku (4) vedená prusecíkem podélné osy SEM (1.1) tubusu SEM (1) s odprášeným povrchem (4.1) svírá s podélnou osou SEM (1.1) tubusu SEM (1) úhel (.gama.) ležící ve shora otevreném intervalu (50.degree.; 90.degree.). Zároven je detekcní plocha (3.2) EBSD detektoru (3) orientována do prostorového úhlu s dostatecnou hustotou zpetne difraktovaných elektronu. Takto navržený systém se sestaví a nastaví tak, že EBSD detektor (3) s detekcní plochou (3.2) se umístí do zjištené polohy. V zarízení FIB se pootocí první smer (5) rastrování fokusovaným iontovým svazkem o navržený úhel (.alfa.) vuci rovine (7) pro následnou operaci odprášení povrchové vrstvy pomocí zarízení FIB a následnou detekci zpetne difraktovaných elektronu pomocí EBSD detektoru (3) pri nemenné poloze vzorku (4). U systému svírá podélná osa FIB (2.1) tubusu FIB (2) s podélnou osou SEM (1.1) tubusu SEM (1) úhel .beta.=55.degree.. Prumety podélné osy FIB (2.1) a libovolné kolmice (3.1) na detekcní plochu (3.2) EBSD detektoru (3) zpetne difraktovaných elektronu do roviny kolmé na podélnou osu SEM (1.1) svírají úhel .fi.=101,8.degree.. Povrch (4.1) vzorku (4) odprášený fokusovaným iontovým svazkem, od jehož povrchové vrstvy jsou deteko</p> |
