一种自动平衡补偿式硅单晶生长用提升装置

摘要

本发明公开了一种自动平衡补偿式硅单晶生长用提升装置，包括竖直设置的旋转主轴，旋转主轴的水平端面上安装有底板，底板上安装有卷轮箱及支座，支座中平行设置有旋转丝杆和导向杆，旋转丝杆和导向杆上同时套接有随动平衡块，在支座的两端内侧各设有一限位开关；在卷轮箱内部安装有滚动花键轴，滚动花键轴外套装有滚动花键套和牵引螺套，在卷轮箱的内壁上固定设置有牵引螺母，牵引螺母与牵引螺套通过螺纹配合，滚动花键套外套有卷扬轮，卷扬轮与牵引螺套固定连接，在卷扬轮上缠绕有钢丝绳软轴；滚动花键轴的一端设置有齿形带轮，齿形带轮与精密电动机和旋转丝杆分别连接。本发明装置结构简单、操作方便，在硅单晶生长工艺过程中平衡性好。

主权项

一种自动平衡补偿式硅单晶生长用提升装置，其特征在于：包括竖直设置的旋转主轴(23)，旋转主轴(23)的水平端处固定于底板(1)上，旋转主轴(23)与电机(26)连接；在底板(1)上安装有卷轮箱(2)及支座(4)；在支座(4)中平行设置有旋转丝杆(6)和导向杆(22)，旋转丝杆(6)和导向杆(22)上同时套接有随动平衡块(5)，旋转丝杆(6)与随动平衡块(5)之间通过螺纹套接，导向杆(22)与随动平衡块(5)之间光滑套接，在支座(4)的两端内侧朝向随动平衡块(5)的位置，各设置有一个限位开关(3)；卷轮箱(2)的一端设置有端盖(13)，在卷轮箱(2)内部安装有滚动花键轴(12)，滚动花键轴(12)上串列套装有滚动花键套(14)和牵引螺套(17)，在卷轮箱(2)的内壁上固定设置有牵引螺母(18)，牵引螺母(18)与牵引螺套(17)通过螺纹配合，滚动花键套(14)外套有卷扬轮(15)，卷扬轮(15)与牵引螺套(17)固定连接，在卷扬轮(15)上缠绕有钢丝绳软轴(16)，钢丝绳软轴(16)的下底端安装有籽晶重锤(20)；滚动花键轴(12)伸出端盖(13)的一端设置有齿形带轮(10)，齿形带轮(10)通过减速器(11)与精密电动机(8)连接，齿形带轮(10)还依次通过齿形皮带(9)、螺杆带轮(7)与旋转丝杆(6)传动连接。