| 发明名称 | 用于片式密封的薄片的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种用于片式密封件的薄片(20，20’)的制造方法，该片式密封件尤其是作为燃气轮机用的密封件，这些薄片(20，20’)由周边的边缘轮廓来沿侧边定界并且具有厚度(d1，d2)不同的区域。借助于蚀刻工艺从金属板(28)切割出所述薄片(20，20’)的边缘轮廓，而且，作为所述蚀刻工艺的一部分，还同时制出所述不同厚度(d1，d2)的区域，这就实现了一种简化而不会牺牲精确性。 | ||
| 申请公布号 | CN1946958B | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200580013316.3 | 申请日期 | 2005.04.20 |
| 申请人 | 阿尔斯托姆科技有限公司 | 发明人 | S·I·霍格;N·A·罗德斯;E·肖恩菲尔德 |
| 分类号 | F16J15/32(2006.01)I | 主分类号 | F16J15/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 范晓斌;廖凌玲 |
| 主权项 | 一种用于片式密封件(12)的薄片(20，20’，39；40，40’，40”)的制造方法，这些薄片(20，20’，39；40，40’，40”)由周边的边缘轮廓来沿侧边定界并且具有厚度(d1，d2)不同的区域，其特征在于，借助于蚀刻工艺从金属板(28)切割出所述薄片(20，20’，39；40，40’，40”)的边缘轮廓；而且，作为所述蚀刻工艺的一部分，也制出所述不同厚度(d1，d2)的区域；所使用的蚀刻工艺是光化学加工工艺，在该工艺中，在第一步中：用光刻胶层(21)覆盖住金属板(28)的一面或两面；在第二步中：以照相法对光刻胶层进行图形化，使得预定区域(22)中的光刻胶层(21)被选择性去除，在所述预定区域(22)中，将要通过蚀刻来减小金属板(28)的厚度或者要将金属板(28)蚀透；在第三步中：在已经去除了光刻胶层(21)的区域(22)中将金属板(28)选择性侵蚀或者蚀透；在第四步中：在已经选择性去除了光刻胶层(21)的区域(22)中，为了减小厚度而已经被侵蚀的区域具有涂层(33)，该涂层具有与金属板(28)的金属显著不同的热膨胀系数。 | ||
| 地址 | 瑞士巴登 | ||