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发明名称 FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR100960162(B1) 申请公布日期 2010.05.26
申请号 KR20087015988 申请日期 2003.12.26
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H01L21/205;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/285 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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