Aerostatisch geführtes Tischsystem für die Vakuumanwendung

摘要

Es wird ein Tischsystem für die Vakuumanwendung mit einer Basisplatte und einem über aerostatische Lagereinheiten geführten Verfahrtisch, wobei die Lagereinheiten (10) mit Zufuhr- und Absaugleitungen zum Zuführen und Abführen des zum Betrieb der Lagereinheiten benötigten Gases verbunden sind und jeweils mit einem zumindest einstufigen Dichtsystem aus Absaugkanal und Dichtspalt zur Abdichtung zum Vakuum versehen sind. Das Tischsystem ist dadurch gekennzeichnet, dass die aerostatischen Lagereinheiten (10) zumindest teilweise als Drehgelenke ausgebildet sind und mit dem drehenden Teil (21) jedes Drehgelenks eine von einem Antrieb (5) betätigte Schubstange (4) zur lateralen Führung des Verfahrtisches verbunden ist und dass die Schubstangen (4) hohl sind und Bestandteil der Absaugleitungen zum Abführen des Betriebsgases sind.