| 发明名称 | 激光束照射装置以及激光束照射方法 | ||
| 摘要 | 从激光振荡器发射激光束且将所述激光束经过校正透镜入射于具有凹透镜的光束扩展器光学系统。当如将所述激光振荡器的发射点设定为第一共轭点，将所述第一共轭点的像经过所述校正透镜而成像的点设定为第二共轭点，将从所述校正透镜到所述第二共轭点的距离设定为b，将所述凹透镜的焦距设定为f，以及将从所述校正透镜到所述凹透镜的距离设定为X时，使所述X满足b-3|f|≤X≤b+|f|地配置所述激光振荡器、所述校正透镜以及所述凹透镜。 | ||
| 申请公布号 | CN101000863B | 申请公布日期 | 2010.05.19 |
| 申请号 | CN200710002204.9 | 申请日期 | 2007.01.12 |
| 申请人 | 株式会社半导体能源研究所 | 发明人 | 田中幸一郎 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;B23K26/06(2006.01)I;G02F1/35(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 程天正;梁永 |
| 主权项 | 一种激光束照射装置，包括：激光振荡器；光束扩展器光学系统，从所述激光振荡器振荡的激光束入射到其中；以及配置在所述激光振荡器和所述光束扩展器光学系统之间的校正透镜，其中，所述光束扩展器光学系统包括凹透镜，并且，当将所述激光振荡器的发射点设定为第一共轭点，将所述第一共轭点的像经过所述校正透镜而成像的点设定为第二共轭点，将从所述校正透镜到所述第二共轭点的距离设定为b，将所述凹透镜的焦距设定为f，以及将从所述校正透镜到所述凹透镜的距离设定为X时，所述X满足b-3|f|≤X≤b+|f|。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县厚木市 | ||