| 发明名称 | 研磨机盘面整形修正轮 | ||
| 摘要 | 本发明是研磨机盘面整形修正轮，其结构是由传动轮与整形轮两部分组成，传动轮啮合在外齿圈与整形轮之间，从而保证整形轮沿着内齿圈做圆周运动，外齿圈接研磨机中心轴。整形轮在下研磨盘与上研磨盘之间。本发明的优点：通过整形轮沿着内齿圈做匀速圆周运动，可以在较短的时间内，使盘面的水平度和平整度达到要求，从而提高水晶片厚度率的一致性，提高水晶片品质。同时，传动轮与整形轮的运动，可以达到清洗内外齿圈的目的，从而减少游轮消耗。 | ||
| 申请公布号 | CN101708594A | 申请公布日期 | 2010.05.19 |
| 申请号 | CN200910263282.3 | 申请日期 | 2009.12.18 |
| 申请人 | 南京华联兴电子有限公司 | 发明人 | 唐发远;李太保 |
| 分类号 | B24B53/02(2006.01)I | 主分类号 | B24B53/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人 | 沈根水 |
| 主权项 | 研磨机盘面整形修正轮，其特征是由传动轮(4)与整形轮(3)两部分组成，传动轮(4)啮合在外齿圈(5)与整形轮(3)之间，从而保证整形轮(3)沿着内齿圈(1)做圆周运动。 | ||
| 地址 | 210028 江苏省南京市中央门外迈皋桥华电路1号 | ||