法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种法布里-珀罗型光纤压力传感器，由硅片(1)、玻璃管(2)、光纤法兰盘(3)和光纤插头(4)构成，其特征是：玻璃管的一端与硅片键合，玻璃管固定于光纤法兰盘的凹槽内，光纤插头的陶瓷插针通过白色瓷管(5)固定在玻璃管内，光纤插头的陶瓷插针与硅片的下表面形成法布里-珀罗腔。同时还公开了该传感器的制作方法。本发明传感器制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好的光纤压力传感器。

主权项

一种制作法布里-珀罗型光纤压力传感器的方法，其步骤是：a、将清洗过的<100>晶向的单晶硅片双面热氧化一层二氧化硅后，双面再淀积一层氮化硅；b、硅片顶面用厚光刻胶作保护层，光刻后用反应离子刻蚀工艺刻蚀掉未保护的氮化硅，接着再用BOE腐蚀液即氢氟酸、氟化氨和水的溶液，按3∶6∶10配比，将暴露的二氧化硅去除；用丙酮去除光刻胶；c、将硅片放在KOH腐蚀溶液中使其减薄到180微米厚；d、运用步骤b的方法依次刻蚀底面的氮化硅和二氧化硅，在硅片的底面开一个窗口；e、用反应离子刻蚀工艺在硅片的底面刻蚀出对准槽；f、分别用反应离子刻蚀工艺和BOE腐蚀液去除氮化硅和二氧化硅；g、将玻璃管切割成小环并将其端面进行抛光；h、将步骤g处理后的玻璃管与硅片放在键合炉上，进行静电键合；i、将硅片的顶面用金刚砂打磨粗糙；j、将白色陶瓷管截取合适长度，插入经步骤g处理后的玻璃管内，在白色陶瓷管与经步骤g处理后的玻璃管接触处点上环氧树脂，干透；k、在经步骤g处理后的玻璃管的外壁涂上环氧树脂后将其粘接到光纤法兰盘的凹槽内；l、将光纤插头的陶瓷插针插入白色陶瓷管内，使用光传感分析仪控制光纤插头的陶瓷插针端面与硅片的距离，在光纤插头的陶瓷插针与白色陶瓷管之间点上环氧树脂固定，干透；光纤插头的陶瓷插针与硅片的下表面形成法布里-珀罗腔。