薄膜粘贴方法及其装置

摘要

本发明涉及将与粘合基板相称大小的片状的薄膜粘贴在基板上的薄膜粘贴方法及其装置。在基板(2)的上方、利用吸附板(33)和前端吸附板(34)使薄膜(1)在保护膜(7)的相反面侧倾斜并对其加以吸附保持，将粘接带(55)粘贴在保护膜(7)上，在薄膜(1)的前端部使粘接带(55)反向移动，剥离保护膜(7)的前端部，使前端吸附板(34)脱离薄膜的前端部，将剥离了保护膜的前端部的薄膜的前端部与基板(2)的前端部对齐，利用压接辊(46)加压，解除吸附板(33)对薄膜的吸附保持，一面以薄膜(1)的前端部侧为前面使基板(2)移动，一面利用粘接带(55)的移动剥离保护膜(7)，同时向基板(2)供给薄膜(1)，利用压接辊(46)将薄膜(1)粘贴在基板(2)上。根据本发明，无需对吸附保持力进行微妙且复杂的控制，并且薄膜也不会掉落在基板上，可简便且可靠地将薄膜粘贴在基板上。

主权项

一种薄膜粘贴方法，在与基板相符大小的片状薄膜的粘接面上设置保护膜，在将该保护膜剥离后将该薄膜粘贴在该基板上，从而将该基板和该薄膜加以粘贴，其特征在于，在水平保持的基板的上方，利用对应于该薄膜的一边前端部的前端吸附板和对应于该一边前端部以外的该薄膜区域的吸附板，将该薄膜吸附保持在该保护膜的相反面侧，在保持于该吸附板以及该前端吸附板上的该薄膜的该保护膜上粘贴与该薄膜的一边前端部正交设置的粘接带，在该薄膜的一边前端部反向移动该粘接带，剥离该薄膜的一边前端部侧上的该保护膜的前端部，解除该前端吸附板对该薄膜的一边前端部的吸附保持，使该前端吸附板脱离该薄膜的一边前端部，将剥离了该保护膜前端部的该薄膜的一边前端部与水平保持的基板上的与该薄膜一边前端部对应的部位对齐、利用压接辊对该部位进行加压，解除该吸附板对该薄膜的吸附保持，一面以该薄膜的一边前端部侧为前面水平移动该基板，一面利用与该粘接带的移动反向的移动来剥离该保护膜，同时，向该基板上供给该薄膜、用该压接辊加压，将该薄膜粘贴在该基板上。