具有多个独立移动有节机械臂的基片传送装置

摘要

一种基片传送装置包含一种具有至少一个传动轴的传动部分以及至少两个SCARA手臂，该手臂可操作性得与至少一个传动轴相耦合，此至少一个的传动轴是至少两个的SCARA手臂的一种共用传动轴，影响至少两个的SCARA手臂的延伸和收缩，其中这至少两个的SCARA手臂相互耦合，因此，至少一个的传动轴与至少两个的SCARA手臂耦合，此传动轴的旋转能影响至少两个的SCARA手臂其中一个的延伸和收缩而基本上独立于至少两个SCARA手臂中另一的移动。

主权项

一种基片传送装置包括：一种具有至少一个传动轴的传动部分；并且至少两个SCARA臂操作性得与此至少一个的传动轴耦合，此至少一个的传动轴是至少两个的SCARA手臂的共同传动轴影响此至少两个的SCARA臂的延伸和收缩，其中这至少两个的SCARA手臂相互耦合，并且这至少一个的传动轴与这至少两个的SCARA臂耦合，此传动轴的旋转影响此至少两个SCARA臂之一个的延伸和收缩而基本独立于至少两个SCARA臂中另一臂的移动。