| 发明名称 | PECVD用硅片载片器的挂钩 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种PECVD用硅片载片器的挂钩，包括钩体，所述钩体包括两个向下延伸的支臂，所述支臂的截面为圆形，钩体的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖，钩尖为圆锥体，钩体的腰部内侧设置有向内伸的顶尖，顶尖也为圆锥体。本实用新型钩体的截面为圆形，表面很光，粗糙度小，装取片时，不容易对硅片造成影响，不易产生碎片；钩尖为圆锥体，与硅片是点接触，不易产生彩片。 | ||
| 申请公布号 | CN201473588U | 申请公布日期 | 2010.05.19 |
| 申请号 | CN200920234831.X | 申请日期 | 2009.08.07 |
| 申请人 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 发明人 | 尤耀明 |
| 分类号 | C23C16/50(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人 | 曹祖良 |
| 主权项 | 一种PECVD用硅片载片器的挂钩，包括钩体(1)，其特征是：所述钩体(1)包括两个向下延伸的支臂，钩体(1)的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖(3)，钩体(1)的腰部内侧设置有向内伸的顶尖(2)。 | ||
| 地址 | 214092 江苏省无锡市滨湖区马山碧波支路8号 | ||