一种旋转溅射靶及其制作方法

摘要

本发明公开了一种旋转溅射靶及其制作方法。包括底座、竖直放置的金属内筒和套设在金属内筒外的圆筒形靶材，圆筒形靶材与底座之间相密封；在金属内筒内设置有第一加热器，在圆筒形靶材外套设有第二加热器；在金属内筒和圆筒形靶材达到低熔点金属的熔化温度后，在金属内筒与圆筒形靶材之间填充熔融状态的低熔点金属，然后冷却圆筒形靶材。本发明使得陶瓷圆筒形靶材与机械强度较高、易于密封与导电导热的金属衬底圆筒紧密可靠地接合，提高了陶瓷圆筒形靶材的利用率，具有放电稳定、使用功率高、镀膜效率高等优点；用垂直方法对旋转靶和衬底圆筒之间用低熔点金属进行粘接，解决了圆筒形靶材粘接的难点问题，操作简单方便。

主权项

一种旋转溅射靶，其特征是：包括金属内筒(1)和与其同轴心的圆筒形靶材(2)以及设置在金属内筒(1)和圆筒形靶材(2)之间的低熔点金属粘接层(3a)；沿金属内筒(1)的轴线，在金属内筒(1)外表面粘接有至少一段圆筒形靶材(2)。