发明名称 NANO-INTERCONNECTS FOR ATOMIC AND MOLECULAR SCALE CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP2186128(A1) 申请公布日期 2010.05.19
申请号 EP20070794259 申请日期 2007.08.10
申请人 AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH (A*STAR) 发明人 THET, NAING TUN;JOACHIM, CHRISTIAN;CHANDRASEKHAR, N.
分类号 H01L21/768;B82B3/00 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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