图像传感器像素及其制造方法

摘要

提供了一种CMOS图像传感器中像素的光电二极管的新型结构及其制造方法。所述光电二极管利用一个光掩模而形成，从而减少了掩模数量，简化了制造工艺。此外，构成光电二极管的两个导电层得以自对准，从而无需连接光电二极管与传输晶体管的制造工艺。因而，在传输晶体管的栅极下部产生的沟道效应问题得以解决，从而可以制造一种改进的像素。

主权项

一种制造图像传感器的像素的方法，包括以下步骤：(a)在半导体衬底上形成沟槽区域；(b)注入离子，以形成穿过所述沟槽区域的光电二极管的电极；以及(c)在注入离子以形成所述光电二极管的电极之后形成晶体管的栅极。