金属蒸汽真空弧离子源用加热式阴极

摘要

一种用于金属蒸汽真空弧离子源的加热式阴极。要点是采用电加热器加热阴极，同时采用导热性能差的材料制作底环，从而保证阴极处于合适的高温状态，温度由埋入底环内的热电偶测量。在工字形骨架上用电阻丝绕制电加热器，骨架的内径与阴极材料外径配合。阴极材料通过内压环和外压环固定在底环上，套上电加热器后再装配绝缘套和触发电极即可。电加热器和热电偶的引线选用合适的高温绝缘导线，并通过密封插座与离子源外的加热控制器连接，从而方便地进行温度测量和控制。由于阴极可以处于合适的高温状态，一些低温导电性差高温导电性好的材料和一些高熔点的材料可以用于金属蒸汽真空弧离子源，增加金属蒸汽真空弧离子源产生的离子种类。

主权项

一种金属蒸气真空弧离子源用加热式阴极，其特征在于采用电加热器加热阴极，同时采用导热性能差的材料制作底环，从而保证阴极处于合适的高温状态，温度由埋入底环内的热电偶测量。