SU-8环氧树脂的分离方法

摘要

SU-8环氧树脂的分离方法，本发明提出采用柱层析法和高压液相色谱-尺寸排阻色谱法进行分离，分离结果表明SU-8环氧树脂分子量分布范围很大，从100-100000，包括SU-8、SU-6、SU-4、SU-2、SU-1等多种组分及其混合物，并不是文献所报道的单纯SU-8。同时，由于SU-1、SU-2、SU-4小分子及其混合物在近紫外波段具有较强的吸收性，同时曝光后难以充分交联，造成图形分辨率不高和SU-8光刻胶的吸收性及缩胶问题，难以制作纳米级微结构。本发明为配制性能优化的SU-8光刻胶，以提高制作图形的分辨率，解决吸收性和缩胶问题，制作纳米级三维微结构奠定了基础。

主权项

SU-8环氧树脂的分离方法，其特征在于步骤如下：(1)首先采用柱层析法分离SU-8环氧树脂，得到不同组成成分；(2)再利用高压液相色谱-尺寸排阻色谱法进一步表征步骤(1)分离得到的不同组分的分子量分布。