| 发明名称 | 带吹扫处理装置的扩散炉 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种带吹扫处理装置的扩散炉，主要应用于扩散炉中；它包括有加热炉和操作室；加热炉带有炉腔，其炉口朝向操作室方向，在加热炉内还设有石英舟；在加热炉与操作室之间还设有排气室，排气室内靠近加热炉炉口处设有一风刀。风刀形成的风面在装载及卸载时可吹扫掉硅片上的尘粒，同时卸载时可使硅片快速冷却，有效提高扩散炉的扩散工艺质量。 | ||
| 申请公布号 | CN201476552U | 申请公布日期 | 2010.05.19 |
| 申请号 | CN200920133840.X | 申请日期 | 2009.07.10 |
| 申请人 | 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 | 发明人 | 伍波;张勇;李果山 |
| 分类号 | F27B17/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/38(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I | 主分类号 | F27B17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人 | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 主权项 | 一种带吹扫处理装置的扩散炉，包括加热炉(1)和操作室(8)，加热炉(1)带有炉腔，其炉口(2)朝向操作室(8)方向，在加热炉(1)内还设有石英舟(3)，其特征在于：在加热炉(1)与操作室(8)之间还设有排气室(7)，排气室(7)内靠近加热炉(1)炉口(2)处设有一风刀(5)。 | ||
| 地址 | 518103 广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区A4栋 | ||