发明名称 一种应用于LED芯片制作的光刻版
摘要 一种应用于LED芯片制作的光刻版,属于LED芯片制造技术领域。所述光刻版规格为4×4平方英寸,在光刻版的中心设有一边长为1.5平方英寸的正方形方框标记,在正方形标记的内部和外部区域有两种不同的芯片尺寸和电极图形。本光刻版可实现在同一片LED外延片上根据材料的特性制作尺寸和电极图形不同的LED芯片,提高了材料的利用率。
申请公布号 CN201477362U 申请公布日期 2010.05.19
申请号 CN200920188441.3 申请日期 2009.08.03
申请人 南昌欣磊光电科技有限公司 发明人 万金平;龚振;任强
分类号 G03F1/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I 主分类号 G03F1/00(2006.01)I
代理机构 南昌平凡知识产权代理事务所 36122 代理人 夏材祥
主权项 一种应用于LED芯片制作的光刻版,其特征在于,所述光刻版规格为4×4平方英寸,在所述光刻版的中心设有为边长为1.5英寸的正方形方框标记。
地址 330012 江西省南昌市青山湖区罗家集江南材料厂42号