发明名称 | 一种应用于LED芯片制作的光刻版 | ||
摘要 | 一种应用于LED芯片制作的光刻版,属于LED芯片制造技术领域。所述光刻版规格为4×4平方英寸,在光刻版的中心设有一边长为1.5平方英寸的正方形方框标记,在正方形标记的内部和外部区域有两种不同的芯片尺寸和电极图形。本光刻版可实现在同一片LED外延片上根据材料的特性制作尺寸和电极图形不同的LED芯片,提高了材料的利用率。 | ||
申请公布号 | CN201477362U | 申请公布日期 | 2010.05.19 |
申请号 | CN200920188441.3 | 申请日期 | 2009.08.03 |
申请人 | 南昌欣磊光电科技有限公司 | 发明人 | 万金平;龚振;任强 |
分类号 | G03F1/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/00(2006.01)I |
代理机构 | 南昌平凡知识产权代理事务所 36122 | 代理人 | 夏材祥 |
主权项 | 一种应用于LED芯片制作的光刻版,其特征在于,所述光刻版规格为4×4平方英寸,在所述光刻版的中心设有为边长为1.5英寸的正方形方框标记。 | ||
地址 | 330012 江西省南昌市青山湖区罗家集江南材料厂42号 |