一种三支链六自由度并联柔性铰链微动机构

摘要

本发明提供的是一种三支链六自由度并联柔性铰链微动机构。它包括基平台、动平台、设置于基平台上的驱动单元和通过柔性铰关节分别与驱动单元和动平台连接的三个支杆，所述的驱动单元包括安装在基平台上的三个弹性平板和与弹性平板相连的压电陶瓷驱动器，基平台上的三个弹性平板一体加工，每个弹性平板上连接两个压电陶瓷驱动器，两个压电陶瓷驱动器呈直角分布。本发明的三支链六自由度并联微动结构具有结构简洁紧凑，建模方便，装配误差小，有利于保证运动精度等优点。

主权项

一种三支链六自由度并联柔性铰链微动机构，它包括基平台、动平台、设置于基平台上的驱动单元和通过柔性铰关节分别与驱动单元和动平台连接的三个支杆，其特征是：所述的驱动单元包括基平台上的三个可两维运动的弹性平板和与弹性平板相连的压电陶瓷驱动器，每个弹性平板上连接两个压电陶瓷驱动器，两个压电陶瓷驱动器呈直角分布，基平台上的三个弹性平板一起一体化加工。