| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VERBINDEN VON WAFERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT465512(T) |
申请公布日期 |
2010.05.15 |
| 申请号 |
AT20050002752T |
申请日期 |
2005.02.10 |
| 申请人 |
THALLNER, ERICH, DIPL.-ING. |
发明人 |
THALLNER, ERICH |
| 分类号 |
H01L21/68;H01L21/00;H01L21/18;H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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