发明名称 Spektrometrische Anordnung und Verfahren zum Ermitteln eines Temperaturwerts für einen Detektor eines Spektrometers
摘要 Zur Kompensation von Temperaturschwankungen in einem optoelektronischen Detektor ist es bekannt, mittels eines thermischen Temperaturfühlers die Detektortemperatur zu erfassen. Aufgrund der endlichen Entfernung zwischen Detektor und Temperaturfühler ist die Genauigkeit der Temperaturerfassung begrenzt. Durch die Erfindung soll die Detektortemperatur mit hoher Genauigkeit unter geringem Aufwand ermittelbar sein. Neben Mitteln zur spektralen Aufspaltung einfallenden Lichts und einem optischen Detektor zur spektral aufgelösten Detektion eines Spektralbereichs des aufgespalteten Lichts ist ein zweiter optischer Detektor zur Detektion eines Teilbereichs dieses Spektralbereichs als Referenzdetektor vorgesehen, wobei eine Empfindlichkeit des Referenzdetektors im wesentlichen temperaturunabhängig ist. Das Verhältnis der Signale beider Detektoren ist aufgrund der Temperaturunabhängigkeit der Empfindlichkeit des Referenzdetektors ein hochgenaues Maß für die relative Temperatur des ersten Detektors und kann mit geringem Aufwand ermittelt werden. Optische Spektrometrie.
申请公布号 DE102008054056(A1) 申请公布日期 2010.05.06
申请号 DE200810054056 申请日期 2008.10.31
申请人 CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH 发明人 CORRENS, NICO;KERSTAN, FELIX
分类号 G01J3/02 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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