六自由度微机械多传感器

摘要

一种六自由度微机械多传感器(100)，其在单个多传感器设备中提供3个加速度感测轴和3个角速度感测轴。该六自由度微机械多传感器设备包括：提供2个加速度感测轴和1个角速度感测轴的第一多传感器子结构(103)；以及提供第三加速度感测轴以及第二和第三角速度感测轴的第二多传感器子结构(105)。该第一和第二多传感器子结构在六自由度的多传感器设备内的不同衬底上实现。

主权项

一种六自由度多传感器，包括：第一衬底；第二衬底；在所述第一衬底上制造的第一多传感器子结构，所述第一多传感器子结构用于提供第一多个感测信号，所述第一多个感测信号指示相对于在所述第一衬底的平面中的相互正交的第一和第二轴的加速度感测，以及指示相对于与所述第一和第二轴垂直的第三轴的角速度感测，以及在所述第二衬底上制造的第二多传感器子结构，所述第二多传感器子结构用于提供第二多个感测信号，所述第二多个感测信号指示相对于在所述第二衬底的平面中的相互正交的第四和第五轴的角速度感测，以及指示相对于与所述第四和第五轴垂直的第六轴的加速度感测；其中，所述第二多传感器子结构包括：至少一个第一块，其耦合到所述第二衬底并且悬挂在所述第二衬底上方，所述第一块具有相关联的纵轴和横轴，以及垂直于所述纵轴和横轴的相关联的旋转轴；至少一个第二块，其耦合到所述第二衬底并且悬挂在所述第二衬底上方，所述第二块具有相关联的纵轴和横轴，以及垂直于所述纵轴和横轴的相关联的旋转轴，所述第二块与所述第一块相邻；至少一个驱动结构，可操作地耦合到所述第一和第二块，所述驱动结构被配置为绕着所述各自的旋转轴反相地振动所述第一和第二块；第一和第二对完全相对的加速度感测结构，可操作地耦合到所述第一块，所述第一和第二对加速度感测结构分别沿所述第一块的所述纵轴和横轴安置；以及第三和第四对完全相对的加速度感测结构，可操作地耦合到所述第二块，所述第三和第四对加速度感测结构分别沿所述第二块的所述纵轴和横轴安置；其中，所述各个纵轴平行于所述第四轴，并且所述各个横轴平行于所述第五轴，以及其中，每个加速度感测结构被配置为产生各自的感测信号，所述各自的感测信号指示相对于所述第四轴和第五轴的角速度感测，并且还指示相对于所述第六轴的加速度感测。