制造平板显示器的装置

摘要

公开了一种平板显示器(FPD)制造装置，其不仅包括装载闭锁室、进料室和加工室，其中至少一个具有垂直层叠室结构以增强衬底加工效率，而且包括用来在进料室中临时储存衬底的临时衬底储存空间以减少输送衬底所耗费的时间。公开了另一FPD制造装置，其包括装载闭锁室、连接到装载闭锁室的进料室、布置在进料室预定部位的临时衬底储存空间和连接到进料室的至少一个加工室。

主权项

一种真空加工装置，包括相互连接的多个真空室以对衬底进行所需加工，其中至少两个真空室是垂直层叠并且适于分别对衬底进行预定加工的加工室。