多室连续真空镀膜装置

摘要

一种多室连续真空镀膜装置，包括有依次串联、由6台阀门隔开的以下的、进片真空室2-前缓冲真空室4-前过渡真空室6-镀膜真空室8-后过渡真空室9-后缓冲真空室11-出片真空室13；在镀膜真空室8里，装设有若干条的靶条7；各真空室连接有真空发生装置，包括连接在进、出片真空室的前、后初级抽真空系统16、22、连接在前、后缓冲真空室的前、后缓冲深度排气系统17，21，连接在前、后过渡真空室的前、后深度排气系统18和20，和连接在镀膜真空室的镀膜深度排气系统19。本实用新型装置真空度平稳、不波动，镀膜质量好，缩短了在进、出片室的排气时间，提高生产效率，真空室的配置合理、效率高。适用于各种连续生产的真空镀膜装置。

主权项

一种多室连续真空镀膜装置，包括通过两者之间的阀门相互串联，且旁接有真空发生装置的多个真空室、所连接成的一种连续真空镀膜的装置，其特征在于，所述的多个真空室和多个串联的阀门，包括有依次串联的以下设备：阀门I(1)-进片真空室(2)-阀门II(3)-前缓冲真空室(4)-阀门III(5)-前过渡真空室(6)-镀膜真空室(8)-后过渡真空室(9)-阀门IV(10)-后缓冲真空室(11)-阀门V(12)-出片真空室(13)-阀门VI(14)；在镀膜真空室(8)里，装设有1条或若干条作为溅射镀层材料的靶条(7)；所述的真空发生装置，包括分别连接在各个真空室之上的、初级抽真空系统和深度排气系统；当中有连接在进片真空室(2)的前初级抽真空系统(16)，连接在出片真空室(13)的后初级抽真空系统(22)；连接在前缓冲真空室(4)的前缓冲深度排气系统(17)，连接在前过渡真空室(6)的前深度排气系统(18)，连接在镀膜真空室(8)的镀膜深度排气系统(19)，连接在后过渡真空室(9)的后深度排气系统(20)，以及连接在后缓冲真空室(11)上的后缓冲深度排气系统(21)，这些系统通过真空阀门，真空泵以及相应的真空管道，而连接成真空发生系统的。