对具有涂层的处理腔组件进行清洁的方法

摘要

在一种清洁和修整一个具有金属涂层的处理腔组件的方法中，其中金属涂层上具有一个表面，所述金属涂层的表面被浸入一种酸性溶液中，以从所述表面除去至少一部分的处理沉积物。此后，所述金属涂层表面被浸入到一种碱性溶液中，以基本上除去所有的金属涂层。可选地，可对所述组件进行喷丸处理以使所述组件的表面粗糙，并重新形成所述金属涂层。

主权项

一种清洁处理腔组件的方法，所述组件包括其上具有表面的金属涂层，所述表面包括处理沉积物，所述方法包括：(a)将所述金属涂层的表面浸入一种酸性溶液中，以从所述表面除去至少一部分的处理沉积物，所述酸性溶液包括浓度低于约15M的酸性物质；并且(b)在(a)之后，将所述金属涂层的表面浸入一种碱性溶液中，以除去所有所述金属涂层，而不破坏下层组件结构的下层表面，所述碱性溶液包括浓度为从约1M到约8M的KOH、NH4OH、NaOH和K2CO3之一或更多。