具有光学窗口的MEMS封装玻璃微腔的制造方法

摘要

本发明公开一种具有光学窗口的MEMS封装玻璃微腔的制造方法，包括以下步骤：第一步，利用Si微加工工艺在硅圆片上刻蚀形成特定微槽图案，第二步，将上述刻有微槽的硅圆片与Pyrex7740玻璃圆片在100Pa-30kPa的气氛下进行键合，使Pyrex7740玻璃圆片与上述特定图案形成密封腔体，第三步，将上述键合好的圆片在一个大气压下加热，保温，腔内外压力差使软化后的玻璃向密封腔体凸起形成球面，但不与硅圆片微槽的底部接触，从而形成与上述微腔图案结构相应的微腔结构，冷却，将上述圆片在常压下退火消除应力。该工艺方法简单、成本低廉，形成了具有光洁表面的光学通道，同时提供光滑的键合面。

主权项

一种具有光学窗口的MEMS封装玻璃微腔的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，利用Si微加工工艺在硅圆片(1)上刻蚀形成特定微槽图案(2)，第二步，将上述刻有微槽的硅圆片(1)与Pyrex7740玻璃圆片(3)在100Pa-30kPa的气氛下进行键合，使Pyrex7740玻璃圆片与上述特定图案形成密封腔体(5)，第三步，将上述键合好的圆片在一个大气压下加热至740℃～890℃，保温3～8min，腔内外压力差使软化后的玻璃向密封腔体(5)凸起形成球面，但不与硅圆片(1)微槽的底部接触，从而形成与上述微腔图案结构相应的微腔结构(4)，冷却，将上述圆片在常压下退火消除应力。