发明名称 |
Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe |
摘要 |
Ein effektives Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe (10), die eine Pumpenkammer (12) mit mindestens einem Pumpenrotor (14) aufweist, ist gekennzeichnet durch die Schritte: a) Einfüllen einer Reinigungsflüssigkeit (28) in die Pumpenkammer (12), b) Verteilen der Reinigungsflüssigkeit (28) in der Pumpenkammer (12), c) Lösen von Verunreinigungen mit der Reinigungsflüssigkeit (28) und d) Ablassen der Reinigungsflüssigkeit (28) aus der Pumpenkammer (12).
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申请公布号 |
DE102008053522(A1) |
申请公布日期 |
2010.04.29 |
申请号 |
DE200810053522 |
申请日期 |
2008.10.28 |
申请人 |
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH;OERLIKON SOLAR AG |
发明人 |
KANNEN, INGO;GOETTLICH, HAGEN;SCHNEIDER, STEFAN |
分类号 |
F04D19/04;F04C29/00;F04D29/70 |
主分类号 |
F04D19/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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