摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum ortsaufgelösten Vermessen der Doppelbrechungsverteilung eines zylindersymmetrischen Rohlings (2) aus einem für mindestens eine Wellenlänge lambdaB zwischen 180 nm und 650 nm, insbesondere bei 193 nm transparenten optischen Material, umfassend: Durchstrahlen des in einem Behälter (4) mit einer Immersionsflüssigkeit (5) angeordneten Rohlings (2) an einer mantelseitigen Messposition (MP) mittels eines Messlichtstrahls (9), der in einer Messrichtung (Y) bevorzugt rechtwinklig zur Symmetrieachse (S) des Rohlings (2) verläuft, sowie Variieren der mantelseitigen Messposition (MP) durch Bewegen des Messlichtstrahls (9) und des Rohlings (2) relativ zueinander in zwei Richtungen (X, Z) rechtwinklig zur Messrichtung (Y) zum ortsaufgelösten Vermessen der nicht-axialen Doppelbrechungsverteilung des Rohlings (2).
|