发明名称 Verfahren zum ortsaufgelösten Vermessen der Doppelbrechung und Messvorrichtung
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum ortsaufgelösten Vermessen der Doppelbrechungsverteilung eines zylindersymmetrischen Rohlings (2) aus einem für mindestens eine Wellenlänge lambdaB zwischen 180 nm und 650 nm, insbesondere bei 193 nm transparenten optischen Material, umfassend: Durchstrahlen des in einem Behälter (4) mit einer Immersionsflüssigkeit (5) angeordneten Rohlings (2) an einer mantelseitigen Messposition (MP) mittels eines Messlichtstrahls (9), der in einer Messrichtung (Y) bevorzugt rechtwinklig zur Symmetrieachse (S) des Rohlings (2) verläuft, sowie Variieren der mantelseitigen Messposition (MP) durch Bewegen des Messlichtstrahls (9) und des Rohlings (2) relativ zueinander in zwei Richtungen (X, Z) rechtwinklig zur Messrichtung (Y) zum ortsaufgelösten Vermessen der nicht-axialen Doppelbrechungsverteilung des Rohlings (2).
申请公布号 DE102009037554(A1) 申请公布日期 2010.04.29
申请号 DE200910037554 申请日期 2009.08.13
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 PAHL, ULRICH;SPANUTH, JENS
分类号 G01M11/02;G01N21/41 主分类号 G01M11/02
代理机构 代理人
主权项
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