发明名称 HALOGENATED ANTI-REFLECTIVE COATINGS
摘要
申请公布号 EP1474724(B1) 申请公布日期 2010.04.28
申请号 EP20020713620 申请日期 2002.02.11
申请人 BREWER SCIENCE, INC. 发明人 ENOMOTO, TOMOYUKI;MIZUSAWA, KEN-ICHI;ARASE, SHIN-YA;PULIGADDA, RAMA
分类号 G03F7/004;G03F7/11;C08F18/00;C08F18/16;C08F220/12;C08F220/22;C08F220/28;C09D133/16;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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