基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系

摘要

本发明属于空间摩擦学技术领域，涉及一种基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系。该轴系包括第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承、MEMS微泵储油-供油系统、第二MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承、主轴、内支撑套、外支撑套和油储。该轴系可为内转子电机和外转子电机提供有效支撑及润滑，利用MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承+MEMS微泵精确供油的液体复合润滑方式，轴系润滑系统采用由空腔储油器-MEMS微泵-迷宫密封组成的储油、供油及保持装置，使轴系从静止启动到高速运转的宽转速范围内具有良好的润滑特性和摩擦特性，有效改善初期磨合及防止启动咬合，同时提高了轴系在低速下的控制精度、使用寿命和可靠性。

主权项

基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系，其特征在于，该轴系包括第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)、MEMS微泵储油-供油系统(2)、第MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)、主轴(4)、内支撑套(5)、外支撑套(6)和油储(7)；第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)和第MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)同轴排列安装于主轴(4)上，两端由内支撑套(5)实现紧固，由外支撑套(6)实现预紧；第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)的内圈沟道(17)和外圈沟道(18)，以及第MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)的内圈沟道(17)和外圈沟道(18)，其各沟道表面在涂敷固体润滑薄膜之前均采用MEMS工艺在沟道表面预制微孔；MEMS微泵储油-供油系统(2)安装在第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)和第MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)之间，其固定方式由飞轮电机转子的类型确定；油储(7)与MEMS微泵储油-供油系统(2)的楔形微进油口(9)相连接。