用于重离子辐照器件的多维定位装置

摘要

本实用新型涉及一种用于重离子辐照器件的定位装置。一种用于重离子辐照器件的多维定位装置，包括有工作台(1)，其上设有底座(3)，其主要特点是在底座(3)上设有与工作台(1)垂直的滑轨(2)；在滑轨(2)上设有升降工作台(5)。本实用新型的优点是在重离子辐照实验中，快速地根据预先测定好的位置进行定量的切换定位装置，实现了在重离子辐照实验中微电子器件的三维平动和一维转动。对于采集数据和获得数据的质量以及提高实验效率、节省束流时间具有重要的意义。操作简单方便，位置精度高，结构新颖、简单并实现了定量调整和控制，为今后进一步实现计算机自动控制打下了结构基础。

主权项

一种用于重离子辐照器件的多维定位装置，包括有工作台(1)，其上设有底座(3)，其特征是在底座(3)上设有与工作台(1)垂直的滑轨(2)；在滑轨(2)上设有升降工作台(5)。