Apparatus and method for determining shear force between a wafer and a polishing pad,申请号GB20080019697-传众专利搜索

发明名称	Apparatus and method for determining shear force between a wafer and a polishing pad
摘要
申请公布号	GB2464743(A)	申请公布日期	2010.04.28
申请号	GB20080019697	申请日期	2008.10.27
申请人	ARACA INCORPORATED;FUJIKOSHI MACHINERY CORPORATION	发明人	FRANSISCA MARIA ASTRID SUDARGHO;ARA PHILIPOSSIAN;LEONARD BORUCKI;MASANORI FURUKAWA;KOICHIRO ICHIKAWA
分类号	B24B37/04;B24B49/16	主分类号	B24B37/04
代理机构		代理人
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