| 摘要 |
1. Эжекторная форсунка для газа хлористого водорода, используемая в реакционном устройстве для получения трихлорсилана, в котором порошок металлического кремния взаимодействует с газом хлористого водорода для образования трихлорсилана, содержит: ! стержень, проходящий в продольном направлении; и ! головку, которая выполнена на одном конце стержня и проходит в направлении, пересекающем продольное направление стержня; ! при этом канал подачи, проходящий в продольном направлении, выполнен в стержне, ! множество эжекторных каналов выполнены в головке, и ! каждый из эжекторных каналов соединен с возможностью сообщения с каналом подачи и открыт на наружной поверхности головки к направлению, пересекающему направление, в котором проходит канал подачи. ! 2. Эжекторная форсунка для газа хлористого водорода по п.1, в которой резьба выполнена на стержне. ! 3. Эжекторная форсунка для газа хлористого водорода по п.1, в которой множество эжекторных каналов выполнены таким образом, чтобы проходить в радиальном направлении от канала подачи. ! 4. Реакционное устройство для получения трихлорсилана, в котором порошок металлического кремния взаимодействует с газом хлористого водорода для образования трихлорсилана, включающее в себя: ! основной корпус устройства, к которому подают порошок металлического кремния; ! нижнюю пластину, выполненную на нижнем конце основного корпуса устройства; и ! устройство ввода газа, которое вводит газ хлористого водорода в основной корпус устройства через нижнюю пластину, ! при этом устройство ввода газа содержит множество эжекторных форсунок для газа хлористого водорода по п.1, проходящих с во |
