发明名称 Verfahren zum Untersuchen einer Metallschicht und Verfahren zur analytischen Kontrolle eines zum Abscheiden der Metallschicht dienenden Abscheideelektrolyten
摘要 Zur schnellen und sicheren Ermittlung der Qualität einer Metallschicht sowie eines Elektrolyten zur Abscheidung eines Metalls, insbesondere zur elektrolytischen Abscheidung von Nickel, etwa von Halbglanznickel und Glanznickel, wird ein Verfahren zum Untersuchen einer Metallschicht vorgesehen, das folgende Verfahrensschritte umfasst: a) Abscheiden der Metallschicht aus einem Abscheideelektrolyten auf einer Arbeitselektrode; b) Elektrolytisches Auslösen der Metallschicht durch anodisches Polarisieren der Arbeitselektrode gegenüber einer mit der Arbeitselektrode in elektrolytischem Kontakt stehenden Gegenelektrode; c) Aufzeichnen eines sich beim Auflösen der Metallschicht einstellenden elektrischen Auflösepotenzials an der Arbeitselektrode über die Zeit; und d) Ermitteln eines zeitlich gemittelten Wertes des Auflösepotenzials. Zur analytischen Kontrolle des Abscheideelektrolyten ist ein Verfahren vorgesehen, das folgende Verfahrensschritte umfasst: a) Abscheiden der Metallschicht aus dem Abscheideelektrolyten auf einer Arbeitselektrode; b) Elektrolytisches Auflösen der Metallschicht durch anodisches Polarisieren der Arbeitselektrode gegenüber einer mit der Arbeitselektrode in elektrolytischem Kontakt stehenden Gegenelektrode; c) Aufzeichnen eines sich beim Auflösen der Metallschicht einstellenden elektrischen Auflösepotenzials an der Arbeitselektrode über die Zeit; d) Ermitteln eines zeitlich gemittelten Wertes des Auflösepotenzials; und f) Ermitteln einer Differenz ...
申请公布号 DE102008056470(B3) 申请公布日期 2010.04.22
申请号 DE20081056470 申请日期 2008.11.05
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH 发明人 HARTMANN, PHILIP;JONAT, MICHAEL;WUENSCHE, MATHIAS
分类号 G01N17/00 主分类号 G01N17/00
代理机构 代理人
主权项
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