发明名称 Verbesserung der Defekthäufigkeit nach der Dünnschicht-Separation durch Modifikation der Separations-Wärmebehandlung
摘要
申请公布号 DE112008000468(T5) 申请公布日期 2010.04.22
申请号 DE200811000468T 申请日期 2008.03.18
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 SCHWARZENBACH, WALTER;BEN MOHAMED, NADIA;GUITTARD, FLEUR
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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